[实用新型]气体反应连续腔有效
申请号: | 201320360231.4 | 申请日: | 2013-06-20 |
公开(公告)号: | CN203333756U | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 曾昭隆;廖科峰;邱文鼎;赵子铭;黄世壬;汪宇炎;黎胜;何文福 | 申请(专利权)人: | 生阳新材料科技(宁波)有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/58;H01L31/18 |
代理公司: | 广东国欣律师事务所 44221 | 代理人: | 李文 |
地址: | 315000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种气体反应连续腔,包含有依序排列的一预热腔室、一反应腔室及一冷却腔室,各个该腔室位于二隔离装置之间,这些隔离装置使该数个腔室能呈气密状态,一输送装置位于该数个腔室及隔离装置内,用以带动一受反应物移动进而通过该数个腔室,该数个腔室分别设置用以朝向受反应物的顶面作用而调整其温度的上加热器,反应腔室及冷却腔室分别具有一反应气体输入口;藉此,本实用新型可使受反应物进行气体反应且具有良好的效率。 | ||
搜索关键词: | 气体 反应 连续 | ||
【主权项】:
一种气体反应连续腔,其特征在于,包含有:至少三腔室及至少四隔离装置,各个该腔室位于二该隔离装置之间,藉以使该数个腔室能呈气密状态;以及一输送装置,位于该数个腔室及该数个隔离装置内,该输送装置具有一前端、一后端以及能供该隔离装置穿过的至少四空隙,该输送装置是用以设置一受反应物,并带动该受反应物朝向该前端移动进而通过该数个腔室;其中,该数个腔室包含有依序排列的一预热腔室、一反应腔室及一冷却腔室,该预热腔室、该反应腔室及该冷却腔室分别设置一位于该输送装置上方的上加热器,用以朝向该受反应物的一顶面作用而调整该受反应物的温度,该反应腔室及该冷却腔室分别具有一反应气体输入口。
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