[实用新型]一种用于压电泵和压电阀体的压电驱动振子有效
申请号: | 201320362730.7 | 申请日: | 2013-06-24 |
公开(公告)号: | CN203399014U | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 王素贞 | 申请(专利权)人: | 重庆中镭科技有限公司 |
主分类号: | H02N2/04 | 分类号: | H02N2/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 400800 重庆市*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 一种用于压电泵和压电阀体的压电驱动振子,包括下压电体(1)、上压电体(2)、中间的垫片(3),下压电体(1)与上压电体(2)所用材料和尺寸相同,三者粘接组成的双压电晶片型压电驱动振子;或只包括垫片(3)、下压电体(1)和上压电体(2)之一,二者粘接组成单压电晶片型压电驱动振子,其特征在于:垫片(3)是采用形状为正方形、长方形或圆形的各类单晶硅片、多晶硅片或各类玻璃薄片。本实用新型的压电振子构造方法,可有效解决压电振子不同材料层之间的膨胀系数不同而导致下压电体(1)、上压电体(2)及垫片(3)的断裂等问题,提高压电泵等器件的可靠性及寿命。 | ||
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【主权项】:
一种用于压电泵和压电阀体的压电驱动振子,包括下压电体(1)、上压电体(2)、中间的垫片(3),下压电体(1)与上压电体(2)所用材料和尺寸相同,三者粘接组成的双压电晶片型压电驱动振子;或只包括垫片(3)、下压电体(1)和上压电体(2)之一,二者粘接组成单压电晶片型压电驱动振子,其特征在于:垫片(3)采用低膨胀系数材质的单晶晶片、多晶硅片或玻璃片,其厚度为0.1‑5.0mm。
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