[实用新型]一种基板检测装置

摘要

本实用新型公开一种基板检测装置，包括：检查部、测量部和判定部；检查部与测量部并列设置，其中检查部用于对基板进行检查并检出缺陷，包括用于获取基板灰度值的图像采集模块和用于承载图像采集模块的第一支架；测量部用于对基板的缺陷进行测量，包括用于获取基板特性值的图像测量模块和用于承载图像测量模块的第二支架；判定部分别与检查部和测量部连接，测量部对检查部确定的缺陷位置进行特性值测量，根据缺陷位置特性值判定缺陷的等级。本实用新型改变现有检查和测量独立设计的结构，将检查设备和测量设备集成一体，通过缺陷位置的灰度值和基板特性值的对应关系完成对缺陷等级的自动判定，不仅节省判定的时间，还可以减小人为判定产生的误差。

主权项

一种基板检测装置，其特征在于，具体包括：检查部、测量部和判定部； 所述检查部与所述测量部并列设置，其中所述检查部用于对所述基板进行检查并检出缺陷，包括图像采集模块和用于承载图像采集模块的第一支架，所述图像采集模块获取基板的灰度值； 所述测量部用于对所述基板的缺陷进行测量，包括图像测量模块和用于承载图像测量模块的第二支架，所述图像测量模块获取基板的特性值； 所述判定部分别与所述检查部和所述测量部连接，所述检查部根据灰度值确定缺陷位置，所述判定部将所述缺陷位置信息传输给所述测量部，所述测量部对所述缺陷位置进行特性值测量得到缺陷位置特性值，所述判定部再根据所述缺陷位置特性值判定缺陷的等级。