[实用新型]硅片多级循环清洗设备

摘要

本实用新型公开了硅片清洗设备技术领域中的一种硅片多级循环清洗设备，包括进料槽、出料槽、去污槽、药液槽，漂洗槽、进水管和排污管，其中去污槽为四个，药液槽为二个，漂洗槽为四个，进水管分别与进料槽、四个去污槽、二个药液槽、四个漂洗槽和出料槽相连，其特征在于：还包括一个收集箱，四个漂洗槽、出料槽的排水管与收集箱相连，进料槽、四个去污槽和二个药液槽的排水管与排污管相连，收集箱外设有水泵，水泵与收集箱、进料槽之间管道相连,收集箱内设置液位感应器。本实用新型利用收集箱回收漂洗水可以实现水的循环利用、降低水耗及生产成本，增加液位感应器可以实现设备的自动化程度，从而提高设备利用率。

主权项

一种硅片多级循环清洗设备，包括进料槽（1）、出料槽（2）、去污槽（3）、药液槽（4）、漂洗槽（5）、进水管（6）和排污管（7），其中去污槽（3）为四个，药液槽（4）为二个，漂洗槽（5）为四个，进水管（6）分别与进料槽（1）、四个去污槽（3）、二个药液槽（4）、四个漂洗槽（5）和出料槽（2）相连，其特征在于：还包括一个收集箱（8），四个漂洗槽（5）、出料槽（2）的排水管与收集箱（8）相连，进料槽（1）、四个去污槽（3）和二个药液槽（4）的排水管与排污管（7）相连，收集箱（8）外设有水泵（9），水泵（9）与收集箱（8）、进料槽（1）之间管道相连。