[实用新型]喷砂机装置有效
申请号: | 201320367257.1 | 申请日: | 2013-06-25 |
公开(公告)号: | CN203305073U | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 陈春香;杨怀 | 申请(专利权)人: | 南通皋鑫电子股份有限公司 |
主分类号: | B24C3/02 | 分类号: | B24C3/02;B24C5/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226502 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及硅片喷砂处理装置,具体涉及一种喷砂机装置。它包括传送带机构、喷砂系统和喷嘴装置,喷砂系统连接喷嘴装置,喷嘴装置位于传送带机构上方,喷嘴装置包括两个喷嘴,两个喷嘴垂直于传送带安装。本实用新型的优点是设计简单,操作方便,提高了生产效率,硅片喷砂的均一性、喷砂厚度精度控制得到了保证和提高。 | ||
搜索关键词: | 喷砂机 装置 | ||
【主权项】:
喷砂机装置,它包括传送带机构、喷砂系统和喷嘴装置,喷砂系统连接喷嘴装置,喷嘴装置位于传送带机构上方,其特征是喷嘴装置包括两个喷嘴,两个喷嘴垂直于传送带安装。
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