[实用新型]硅片切割机床的砂浆过滤系统有效
申请号: | 201320367291.9 | 申请日: | 2013-06-25 |
公开(公告)号: | CN203391128U | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 刘彬国;何京辉;李立伟;史彪 | 申请(专利权)人: | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B01D29/35;B01D29/37 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 054001 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了硅片切割机床的砂浆过滤系统技术领域中的一种硅片切割机床的砂浆过滤系统,包括硅片切割室、过滤网和砂浆罐,过滤网设置在硅片切割室与砂浆罐之间,还包括过滤罐,过滤罐设置在砂浆罐与硅片切割室之间。采用此种砂浆过滤系统可以提高砂浆在硅片切割过程中的洁净程度,改变机床原过滤装置只能被动过滤的现状,保持砂浆过滤的持续、不间断性,从而提高硅片切割质量和降低废品率。 | ||
搜索关键词: | 硅片 切割 机床 砂浆 过滤 系统 | ||
【主权项】:
一种硅片切割机床的砂浆过滤系统,包括硅片切割室(1)、过滤网(2)和砂浆罐(3),过滤网(2)设置在硅片切割室(1)与砂浆罐(3)之间,其特征在于:还包括过滤罐(4),过滤罐(4)设置在砂浆罐(3)与硅片切割室(1)之间,所述过滤罐(4)与砂浆罐(3)、硅片切割室(1)间通过管件相连通。
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