[实用新型]一种刻蚀传动台阶

摘要

本实用新型涉及一种刻蚀传动台阶，包括滚轮本体、刻蚀区间分隔台、支撑台，其特征在于滚轮本体上平均分布多个刻蚀区间分隔台，相邻两个刻蚀区间分隔台之间设置两个支撑台。支撑台上设置有细纹滚花。使用本实用新型的刻蚀过程，刻蚀区间分隔台将工作区间划分为多个刻蚀区间，硅片设置在支撑台上，由于支撑台上有细纹滚花，可以带动及搅动溶液，使硅片与支撑台接触部分反应均匀，而且采用这种传动方式，溶液浸没硅片边缘，不会产生过刻蚀。本实用新型结构简单，使用方便。

主权项

一种刻蚀传动台阶，包括滚轮本体、刻蚀区间分隔台、支撑台，其特征在于滚轮本体上平均分布多个刻蚀区间分隔台，相邻两个刻蚀区间分隔台之间设置两个支撑台。