[实用新型]研磨垫整理器及研磨装置有效
| 申请号： | 201320373724.1 | 申请日： | 2013-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN203317219U | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨装置和研磨垫整理器，所述研磨垫整理器包括两个整理盘、两个整理盘驱动电机、支架、支架驱动电机以及驱动臂，所述支架驱动电机安装于所述驱动臂的一端，所述支架驱动电机驱动所述支架旋转，所述整理盘驱动电机安装于所述支架的两端，所述整理盘驱动电机分别驱动对应的整理盘旋转。其通过将现有的一个大的整理盘改为两个小的整理盘，可以避免整理盘过大其表面的研磨副产物不容易排除的问题，可以便于排除研磨液副产品，提高研磨垫的整理效率和效果。此外，通过增设清洗液供应管和清洗液喷头，可以将清洗液直接引入研磨垫整理器内部，以有效、彻底清除研磨盘上的研磨副产物，进一步提高研磨垫的整理效率和效果。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 整理 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨垫整理器，其特征在于，包括两个整理盘、两个整理盘驱动电机、支架、支架驱动电机以及驱动臂，所述支架驱动电机安装于所述驱动臂的一端，所述支架驱动电机驱动所述支架旋转，所述整理盘驱动电机安装于所述支架的两端，所述整理盘驱动电机分别驱动对应的整理盘旋转。
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