[实用新型]一种磁铁型冷阴极电离真空规管及包含其的真空测量系统有效
申请号: | 201320375690.X | 申请日: | 2013-06-27 |
公开(公告)号: | CN203367219U | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 李泞;陈旗;胡鹏飞 | 申请(专利权)人: | 成都国光电气股份有限公司 |
主分类号: | H01J41/06 | 分类号: | H01J41/06;G01L21/34 |
代理公司: | 成都华典专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 徐丰;杨保刚 |
地址: | 610100 四川省成都市成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种磁铁型冷阴极电离真空规管及包含其的真空测量系统,一种磁铁型冷阴极真空电离规管,其特征在于,所述磁铁型冷阴极真空电离规管包括电极、磁系统;所述一个电极是所述磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳,所述金属外壳围成的内部空间与金属外壳外部被测空间相连通,另一个电极为呈棒状结构的电极,所述呈棒状结构电极置于所述金属外壳围成的内部空间中;所述磁系统为多个同性磁极相邻的方式置于磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳表面的磁铁,所述磁系统能提供与棒状结构的电极的轴向一致的磁场。所述的磁铁型冷阴极电离真空规管及包含所述磁铁型冷阴极真空电离规管的真空测量系统,能够提高测量精度和测量范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 磁铁 阴极 电离 真空 包含 测量 系统 | ||
【主权项】:
一种磁铁型冷阴极真空电离规管,其特征在于,所述磁铁型冷阴极真空电离规管包括电极、磁系统; —所述一个电极是所述磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳,所述金属外壳围成的内部空间与金属外壳外部被测空间相连通,另一个电极为呈棒状结构的电极,所述呈棒状结构电极置于所述金属外壳围成的内部空间中; —所述磁系统为多个同性磁极相邻的方式置于磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳表面的磁铁,所述磁系统能提供与棒状结构的电极的轴向一致的磁场。
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