[实用新型]基于CCD对位系统的曝光机有效
| 申请号： | 201320375997.X | 申请日： | 2013-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN203433265U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 喻良岳 | 申请（专利权）人： | 东莞市瑾耀精密设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 宋华 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于CCD对位系统的曝光机，包括机座，机座内设置有散热部件，在其顶部设有用于安装工作部件的工作台,在工作台上设有外壳保护工作部件；工作部件包括自动供收机构、贴合机构、CCD自动对位机、曝光光源组以及控制装置，自动供收机构、曝光光源组、CCD自动对位机构以及贴合机构分别与控制装置连接。本实用新型通过控制装置的统一控制以及各部件的协调工作，实现全程自动化上下料以及曝光和贴合，连续循环式的输送以及出料方式极大地提高了生产效率，通过CCD自动对位系统的精密对位，取代人工对位方式，不但有效地提高效率，保证产品的质量，另外采用独特的光源设定，能够稳定地实现紫外平行光的输出，从而保证产品曝光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 ccd 对位 系统 曝光 | ||
【主权项】：
基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，包括机座，所述机座内设置有散热部件，在其顶部设有用于安装工作部件的工作台,在工作台上设有外壳保护工作部件；所述工作部件包括自动供收机构、贴合机构、CCD自动对位机构、曝光光源组以及控制装置，所述自动供收机构、曝光光源组、CCD自动对位机构以及贴合机构分别与控制装置连接。
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