[实用新型]垂直霍尔效应器件以及垂直霍尔效应传感器

摘要

本实用新型涉及一种垂直霍尔效应传感器以及垂直霍尔效应器件。所述垂直霍尔效应器件包括：至少两个电源端子，被布置为向第一霍尔效应区域供应电能；以及至少一个霍尔信号端子，被布置为提供来自所述第一霍尔效应区域的第一霍尔信号。所述第一霍尔信号指示与半导体基板的表面平行并且作用在所述第一霍尔效应区域上的磁场。所述至少两个电源端子中的一个或多个或所述至少一个霍尔信号端子中的一个或多个包括施加触点和感测触点。

主权项

一种垂直霍尔效应传感器，设置在半导体基板上，包括： 第一导电霍尔效应区域，被布置在所述半导体基板的表面之下； 至少两个电源端子，被布置为向所述第一导电霍尔效应区域供应电能； 至少一个霍尔信号端子，被布置为提供来自所述第一导电霍尔效应区域的第一霍尔信号，所述第一霍尔信号指示与所述半导体基板的表面平行并且作用在所述第一导电霍尔效应区域上的磁场； 其中，所述至少两个电源端子中的一个或多个或所述至少一个霍尔信号端子中的一个或多个包括施加触点和感测触点；以及 反馈控制电路，包括： 输出端，连接至所述施加触点并且具有第一阻抗， 输入端，其连接至所述感测触点并且具有第二阻抗，所述第二阻抗高于所述第一阻抗，以及 反馈回路，调节所述反馈控制电路的所述输出端上的电位，直到所述反馈控制电路的所述输入端上的电位等于参考电位。