[实用新型]输送装置以及检查装置

摘要

本实用新型提供输送装置以及检查装置。本实用新型的输送装置具有：基部；被固定于基部的第一支承部；被支承于第一支承部的吸附管嘴；能够相对于第一支承部在Y方向移动的第一移动部；被支承于第一移动部的吸附管嘴；能够在基部沿X方向移动的第二支承部；被支承于第二支承部的吸附管嘴；能够相对于第二支承部在Y方向移动的第二移动部；被支承于第二移动部的吸附管嘴；使第一移动部、第二移动部一体地在Y方向移动并使吸附管嘴与吸附管嘴的离开距离变化的Y方向移动机构；以及使第一支承部、第二支承部的离开距离变化的X方向移动机构。

主权项

一种输送装置，其特征在于， 在将相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向以及第三方向时， 所述输送装置具有： 基部； 第一支承部，该第一支承部被固定于所述基部，在动作时，所述第一支承部相对于所述基部相对位置不变； 第一部件保持部，该第一部件保持部被支承于所述第一支承部，设置成能够相对于所述第一支承部在所述第三方向移动，并且保持部件； 第一移动部，该第一移动部被支承于所述第一支承部，能够相对于所述第一支承部在所述第二方向移动； 第二部件保持部，该第二部件保持部被支承于所述第一移动部，相对于所述第一部件保持部位于所述第二方向，并且设置成能够相对于所述第一移动部在所述第三方向移动，并且保持部件； 第二支承部，该第二支承部被支承于所述基部，相对于所述第一支承部位于所述第一方向，并且能够相对于所述基部在所述第一方向移动； 第三部件保持部，该第三部件保持部被支承于所述第二支承部，设置成能够相对于所述第二支承部在所述第三方向移动，并且保持部件； 第二移动部，该第二移动部被支承于所述第二支承部，能够相对于所述第二支承部在所述第二方向移动； 第四部件保持部，该第四部件保持部被支承于所述第二移动部，相对于所述第三部件保持部位于所述第二方向，并且设置成能够相对于所述第二移动部在所述第三方向移动，并且保持部件； 第一移动机构，该第一移动机构使所述第一移动部和所述第二移动部一体地在所述第二方向移动，使所述第一部件保持部与所述第二部件保持部在所述第二方向的离开距离以及所述第三部件保持部与所述第四部件保持部在所述第二方向的离开距离一起变化；以及 第二移动机构，该第二移动机构使所述第二支承部在所述第一方向移动，使所述第一支承部与所述第二支承部在所述第一方向的离开距离变化。