[实用新型]用于在真空处理设施中进行气体分离的设备

摘要

本实用新型涉及用于在真空处理设施中进行气体分离的设备。所述设备被设置为如下形式的气体流动有效的流动阻力：所述形式为在设施的其中能调节真空中的至少不同的压力的两个区域之间的把基板传送围住的横截面的纵向延伸的收缩部。并且所述设备具有：隧道，作为用于经过基板的收缩部；间壁，其横向于基板传送地在外部围住隧道并且与真空室的内部室壁相连接，使得在隧道之内在基板传送中或者与基板传送相反地设置透气；以及至少一个被称为传送装置的用于基板传送的装置，其在隧道之内构造用于承载基板和使基板运动的支承点。透气唯一地在隧道之内至少通过其纵向延伸部的部分被设置。传送装置和尤其是其驱动装置被安放为使得经过间壁的透气被抑制。

主权项

一种用于基板（4）的在包括至少一个真空室（2）的真空处理设施（3）中的气体分离的设备（1），其特征在于， 所述设备（1）被设置为如下形式的气体流动有效的流动阻力：所述形式为在设施（3）的两个区域（5）之间的把基板传送围住的横截面的纵向延伸的收缩部，在所述区域（5）中能调节真空中的至少不同的压力， 并且所述设备（1）具有： 隧道（6），作为用于经过基板（4）的收缩部， 间壁（7），所述间壁（7）横向于基板传送地在外部围住隧道（6）并且与真空室（2）的内部室壁（21）相连接，使得在隧道（6）之内在基板传送中或者与基板传送相反地设置透气，以及 至少一个被称为传送装置（8）的用于基板传送的装置， 所述用于基板传送的装置借助至少一个可转动的传送滚轮和至少一个用于转动运动的驱动装置（11）在隧道（6）之内构造用于承载基板（4）和使基板（4）运动的支承点（9）， 其特征在于， 透气唯一地在隧道（6）之内至少通过其纵向延伸部（19）的部分被设置， 其中传送装置（8）被安放为使得经过间壁（7）的透气被抑制。