[实用新型]包括应力补偿电路的垂直霍尔传感器电路有效
| 申请号： | 201320400110.8 | 申请日： | 2013-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN203550968U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | U.奥斯塞勒奇纳;M.莫茨 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D3/036 | 分类号： | G01D3/036 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马红梅;刘春元 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本实用新型涉及包括应力补偿电路的垂直霍尔传感器电路。一种垂直霍尔传感器电路包括第一掺杂型的在半导体衬底内形成且具有相对于霍尔效应相关电特性的应力相关性的垂直霍尔效应区。该垂直霍尔传感器电路还包括应力补偿电路，其包括横向电阻器装置和垂直电阻器装置中的至少一个，分别地用于基于提供给应力补偿电路的基准信号而生成应力相关横向电阻器装置信号，并且用于基于基准信号而生成应力相关垂直电阻器装置信号。该垂直霍尔传感器电路还包括用于基于应力相关横向电阻器装置信号和应力相关垂直电阻器装置信号中的至少一个而向所述装置提供第一信号的第一电路。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 应力 补偿 电路 垂直 霍尔 传感器 | ||
【主权项】：
一种垂直霍尔传感器电路，包括：装置，包括第一掺杂型、在半导体衬底内形成并具有相对于霍尔效应相关电特性的应力相关性的垂直霍尔效应区；应力补偿电路，其包括以下各项中的至少一个：横向电阻器装置，具有平行于半导体衬底的表面且相互正交的第一电阻元件和第二电阻元件，其特征在于，所述横向电阻器装置被配置成基于提供给应力补偿电路的基准信号而生成应力相关横向电阻器装置信号；以及垂直电阻器装置，具有第一掺杂型的第三电阻元件，该第三电阻元件被配置成垂直地传导电流流动，并基于基准信号而生成应力相关垂直电阻器装置信号；第一电路，被配置成向所述装置提供第一信号，其特征在于，所述第一信号是基于应力相关横向电阻器装置信号和应力相关垂直电阻器装置信号中的至少一个。
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