[实用新型]一种频率和品质因数可调的微机械谐振器

摘要

本实用新型涉及一种微机械谐振器，尤其是一种频率和品质因数可调的微机械谐振器。所述微机械谐振器包括玻璃基座，键合在玻璃基座上的机械结构层，与溅射在玻璃基座上作为信号引线的金电极层，机械结构层包括：矩形框架结构的质量块、沿垂直方向对称分布在所述质量块两边的两个驱动梳齿、两个驱动信号检测梳齿、两个品质因数调谐梳齿，沿水平方向对称分布在所述质量块两边的两个谐振频率调节梳齿。本实用新型采用矩形框架结构的质量块，降低了质量块的质量，提高了谐振频率，降低了阻尼值，提高了品质因数。

主权项

一种频率和品质因数可调的微机械谐振器，包括玻璃基座，键合在玻璃基座上的机械结构层，与溅射在玻璃基座上作为信号引线的金电极层，其特征在于，所述机械结构层包括：矩形框架结构的质量块、沿垂直方向对称分布在所述质量块两边的两个驱动梳齿、两个驱动信号检测梳齿、两个品质因数调谐梳齿，沿水平方向对称分布在所述质量块两边的两个谐振频率调节梳齿；所述矩形框架结构的质量块中，两条垂直边外边缘上有均匀分布的梳齿，两条水平边内边缘上有均匀分布的梳齿；所述每个驱动梳齿与所述质量块垂直边外边缘上的梳齿构成一个驱动梳齿对，所述每个驱动信号检测梳齿与所述质量块垂直边外边缘上的梳齿构成一个驱动信号检测梳齿对，所述每个品质因数调谐梳齿与质量块垂直边外边缘上的梳齿构成一个品质因数调谐梳齿对，所述每个谐振频率调节梳齿与质量块水平边内边缘上的梳齿构成一个谐振频率调节梳齿对。