[实用新型]采用中频感应加热的扩散炉有效
申请号: | 201320412106.3 | 申请日: | 2013-07-11 |
公开(公告)号: | CN203367244U | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 杜鹏程;陆利新;谢亚胜;丁飞 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;F27D11/06;F27D19/00 |
代理公司: | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人: | 何文欣 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种采用中频感应加热的扩散炉,包括扩散炉管、加热控制器和热电偶,在扩散炉管外围紧密地套上一层耐高温不锈钢管,在耐高温不锈钢管外围再紧密地套上绝缘隔热筒,在绝缘隔热筒外部绕有加热感应线圈,加热感应线圈在中频感应电源的作用下产生高速变化的磁场,在高速变化的磁场作用下,耐高温不锈钢管的管壁内部产生涡流并感应生成热能,从而实现对扩散炉的加热,中频电源控制柜通过接收一系列热电偶的反馈信号,调节加热感应线圈中的电流以改变磁场,进而改变耐高温不锈钢管发热状态,从而实现对扩散炉管内温度的控制。本实用新型采用中频感应加热,升温速度很快,节约预热时间,发热效率高,节能,节电,环保,装备使用寿命长。 | ||
搜索关键词: | 采用 中频 感应 加热 扩散 | ||
【主权项】:
一种采用中频感应加热的扩散炉,包括扩散炉管(3)、加热控制器和热电偶(5),其特征在于:在所述扩散炉管(3)外围紧密地套上一层耐高温不锈钢管(2),在所述耐高温不锈钢管(2)外围再紧密地套上绝缘隔热筒(1),在所述绝缘隔热筒(1)外部绕有加热感应线圈(4),所述加热感应线圈(4)在中频感应电源的作用下产生高速变化的磁场,在高速变化的磁场作用下,所述耐高温不锈钢管(2)的管壁内部产生涡流并感应生成热能,热能再传导于所述扩散炉管(3)上,从而实现对扩散炉的加热,所述加热感应线圈(4)和在所述扩散炉管(3)内设置的一系列所述热电偶(5)通过总线连接到中频电源控制柜(6)上,所述中频电源控制柜(6)通过接收一系列热电偶(5)的反馈信号,调节所述加热感应线圈(4)中的电流以改变磁场,进而改变所述耐高温不锈钢管(2)的发热状态,从而实现对所述扩散炉管(3)内温度的控制。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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