[实用新型]采用中频感应加热的扩散炉有效

专利信息
申请号: 201320412106.3 申请日: 2013-07-11
公开(公告)号: CN203367244U 公开(公告)日: 2013-12-25
发明(设计)人: 杜鹏程;陆利新;谢亚胜;丁飞 申请(专利权)人: 上海大学
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;F27D11/06;F27D19/00
代理公司: 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 代理人: 何文欣
地址: 200444*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种采用中频感应加热的扩散炉,包括扩散炉管、加热控制器和热电偶,在扩散炉管外围紧密地套上一层耐高温不锈钢管,在耐高温不锈钢管外围再紧密地套上绝缘隔热筒,在绝缘隔热筒外部绕有加热感应线圈,加热感应线圈在中频感应电源的作用下产生高速变化的磁场,在高速变化的磁场作用下,耐高温不锈钢管的管壁内部产生涡流并感应生成热能,从而实现对扩散炉的加热,中频电源控制柜通过接收一系列热电偶的反馈信号,调节加热感应线圈中的电流以改变磁场,进而改变耐高温不锈钢管发热状态,从而实现对扩散炉管内温度的控制。本实用新型采用中频感应加热,升温速度很快,节约预热时间,发热效率高,节能,节电,环保,装备使用寿命长。
搜索关键词: 采用 中频 感应 加热 扩散
【主权项】:
一种采用中频感应加热的扩散炉,包括扩散炉管(3)、加热控制器和热电偶(5),其特征在于:在所述扩散炉管(3)外围紧密地套上一层耐高温不锈钢管(2),在所述耐高温不锈钢管(2)外围再紧密地套上绝缘隔热筒(1),在所述绝缘隔热筒(1)外部绕有加热感应线圈(4),所述加热感应线圈(4)在中频感应电源的作用下产生高速变化的磁场,在高速变化的磁场作用下,所述耐高温不锈钢管(2)的管壁内部产生涡流并感应生成热能,热能再传导于所述扩散炉管(3)上,从而实现对扩散炉的加热,所述加热感应线圈(4)和在所述扩散炉管(3)内设置的一系列所述热电偶(5)通过总线连接到中频电源控制柜(6)上,所述中频电源控制柜(6)通过接收一系列热电偶(5)的反馈信号,调节所述加热感应线圈(4)中的电流以改变磁场,进而改变所述耐高温不锈钢管(2)的发热状态,从而实现对所述扩散炉管(3)内温度的控制。
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