[实用新型]石墨坩埚及包含其的单晶炉有效
申请号: | 201320419405.X | 申请日: | 2013-07-12 |
公开(公告)号: | CN203360620U | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 白剑铭 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明;张永明 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种石墨坩埚及包含其的单晶炉。该石墨坩埚包括多个瓣体,各瓣体均具有对接面,相邻两个瓣体之间通过对接面对接,相对接的两个对接面之间形成对接缝隙,对接缝隙处嵌设有防止石墨坩埚内的腐蚀性物质从对接缝隙处流出的阻挡层。使用本实用新型的石墨坩埚及包含其的单晶炉,能够防止对接缝隙处有源源不断的一氧化硅与石墨坩埚发生反应,从而防止硅原子的渗透以及碳化硅的形成,提高石墨坩埚的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 石墨 坩埚 包含 单晶炉 | ||
【主权项】:
一种石墨坩埚,其特征在于,包括多个瓣体(10),各所述瓣体均具有对接面(14),相邻两个所述瓣体(10)之间通过所述对接面(14)对接,相对接的两个所述对接面(14)之间形成对接缝隙(12),所述对接缝隙(12)处嵌设有防止所述石墨坩埚内的腐蚀性物质从所述对接缝隙(12)处流出的阻挡层(11)。
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