[实用新型]一种基片的固定夹具有效
| 申请号： | 201320420315.2 | 申请日： | 2013-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN203700497U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 施加丰;魏斌;熊红斌 | 申请（专利权）人： | 施加丰 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315175 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 针对磁控溅射过程中基片的固定问题，本实用新型提供一种基片的固定夹具，包括立柱、水平台、螺丝、基座，其中，两个立柱之间安装有水平台，立柱和水平台通过螺丝相连接；基座与螺丝相连接，螺丝安装在水平台上；基座位于两个立柱之间。将基片放于基座上，调节螺丝，使得基片的水平面与两个立柱的水平面在一个平面上，通过两个立柱夹紧基片。本实用新型的夹具对薄膜沉积过程没有遮挡作用，保证薄膜沉积的均匀性，提高薄膜整体的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 夹具 | ||
【主权项】：
一种基片的固定夹具，包括立柱、水平台、螺丝、基座，其特征在于： 所述的立柱由两个，且两个立柱之间安装有水平台，立柱和水平台通过螺丝相连接； 所述的基座与螺丝相连接，螺丝安装在水平台上； 所述的基座位于两个立柱之间。
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