[实用新型]一种降低晶体硅片崩边的装置有效
申请号: | 201320420350.4 | 申请日: | 2013-07-16 |
公开(公告)号: | CN203401616U | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 谢勇波;汪军;尚鹏飞;张文;黄志强 | 申请(专利权)人: | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 施秀瑾 |
地址: | 332005 江西省九江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 一种降低晶体硅片崩边的装置,包括硅块、晶托,所述硅块下表面与切割线网长垂直的方向平行的粘接两根导向条,所述硅块上表面设有玻璃板,玻璃板上表面设有金属垫条,金属垫条上设有晶托,所述晶托与金属垫条之间靠往放线轮一侧设有金属垫片。解决了多晶硅片切片倒角崩边异常的问题。具有结构简单、效果好的特点,提高了硅片成品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 降低 晶体 硅片 装置 | ||
【主权项】:
一种降低晶体硅片崩边的装置,包括硅块(5)、晶托(2),其特征在于,所述硅块(5)下表面与切割线网长垂直的方向平行的粘接两根导向条(6),所述硅块(5)上表面设有玻璃板(3),玻璃板(3)上表面设有金属垫条(4),金属垫条(4)上设有晶托(2),所述晶托(2)与金属垫条(4)之间靠往放线轮一侧设有金属垫片(1)。
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