[实用新型]一种微电子机械系统的电容式气压传感器有效
| 申请号： | 201320421036.8 | 申请日： | 2013-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN203365045U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 聂萌;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微电子机械系统的电容式气压传感器，包括衬底、键合层、电容下极板、电容上极板、绝缘层、加热电阻条、上电极电引出、下电极电引出和两个加热电阻条电引出，衬底的底面设有真空腔，电容下极板固定连接在键合层的上表面，且电容下极板位于真空腔中，位于真空腔顶面正上方的衬底为电容上极板，绝缘层固定连接在衬底的上表面，加热电阻条固定连接在绝缘层的上表面，两个加热电阻条电引出固定连接在衬底的上表面，且每个加热电阻条电引出和加热电阻条的一端连接；上电极电引出和下电极电引出分别位于衬底上。该气压传感器解决了测量线性度与灵敏度相互制约的技术难点，可以适用于多种不同量程气压的测量与采集。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 机械 系统 电容 气压 传感器 | ||
【主权项】：
一种微电子机械系统的电容式气压传感器，其特征在于，该气压传感器包括衬底（8）、键合层（9）、电容下极板（2）、电容上极板（1）、绝缘层（3）、加热电阻条（4）、上电极电引出（5）、下电极电引出（6）和两个加热电阻条电引出（7）；衬底（8）固定连接在键合层（9）的上表面，衬底（8）的底面设有真空腔（10），电容下极板（2）固定连接在键合层（9）的上表面，且电容下极板（2）位于真空腔（10）中，电容上极板（1）为位于真空腔（10）顶面正上方的衬底（8），电容上极板（1）为可动感压薄膜，电容上极板（1）与电容下极板（2）相对，绝缘层（3）固定连接在衬底（8）的上表面，且绝缘层（3）覆盖了电容上极板（1），加热电阻条（4）固定连接在绝缘层（3）的上表面，且加热电阻条（4）位于电容上极板（1）的正上方，加热电阻条（4）的两个加热电阻条电引出（7）固定连接在衬底（8）的上表面，且每个加热电阻条电引出（7）和加热电阻条（4）的一端连接；上电极电引出（5）和下电极电引出（6）分别位于衬底（8）上，且上电极电引出（5）与电容上极板（1）连接，下电极电引出（6）与电容下极板（2）连接。
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