[实用新型]四层结构片式氧传感器有效
申请号: | 201320423286.5 | 申请日: | 2013-07-17 |
公开(公告)号: | CN203376282U | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 田慎重;许金鑫;徐鹏;王一平;王春华 | 申请(专利权)人: | 苏州衡业新材料科技有限公司 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 郭俊玲 |
地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种四层结构片式氧传感器,包括自上向下依次设置的敏感元件层、空气通道层和加热层,所述加热层由加热基片层、以及设于加热基片层上方的加热电极绝缘层组成,所述加热电极绝缘层和空气通道层之间还设有一氧化锆基片层,所述氧化锆基片层包括氧化锆基片,所述氧化锆基片的下表面设有一绝缘印刷层一,本实用新型在片式氧传感器中引入一层氧化锆基片层,减少了印刷烘干次数,节约了工艺时间,同时减少了因为印刷层数过多干裂的现象,大大提高了产品成品率。 | ||
搜索关键词: | 结构 片式氧 传感器 | ||
【主权项】:
一种四层结构片式氧传感器,包括自上向下依次设置的敏感元件层(1)、空气通道层(2)和加热层(3),所述加热层(3)由加热基片层(4)、以及设于加热基片层(4)上方的加热电极绝缘层(5)组成,其特征在于:所述加热电极绝缘层(5)和空气通道层(2)之间还设有一氧化锆基片层(6),所述氧化锆基片层(6)包括氧化锆基片(61),所述氧化锆基片(61)的下表面设有一绝缘印刷层一(62)。
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