[实用新型]高纯气体汇流充装排有效
| 申请号： | 201320424476.9 | 申请日： | 2013-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN203431481U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 缪贯通;缪嘉通;宋兆德;吴琼 | 申请（专利权）人： | 爱康尼克晶体硅（芜湖）有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17C7/00 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨欣陆 |
| 地址： | 241206 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯气体汇流充装排，包括环流管路、氮气阀门、排气阀门、接口阀门、废液罐、废液阀门；所述氮气阀门一端连接高纯氮气，另一端连通所述环流管路；所述排气阀门一端连接所述废液罐，另一端连通所述环流管路；所述接口阀门用于连接高纯气源或钢瓶；所述废液阀门串联在所述废液罐和所述排气阀门之间。本实用新型所提供的高纯气体汇流充装排，能够在一套设备上完成高纯氮气进行高纯吹扫，然后再将瓶中废液压入废液罐中，再进行高纯气体的充装等工作，从而提高了工作效率，并节省了设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 气体 汇流 充装排 | ||
【主权项】：
一种高纯气体汇流充装排，其特征在于：包括环流管路（3）、氮气阀门（1）、排气阀门（2）、接口阀门（4）、废液罐（9）、废液阀门（6）；所述氮气阀门（1）一端连接高纯氮气，另一端连通所述环流管路（3）；所述排气阀门（2）一端连接所述废液罐（9），另一端连通所述环流管路（3）；所述接口阀门（4）用于连接高纯气源或钢瓶；所述废液阀门（6）串联在所述废液罐（9）和所述排气阀门（2）之间。
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