[实用新型]一种气体冷却式定向凝固装置有效
申请号: | 201320425923.2 | 申请日: | 2013-07-18 |
公开(公告)号: | CN203382843U | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | 谭毅;陈磊;袁涛;温书涛 | 申请(专利权)人: | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06 |
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地址: | 266234 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型属于定向凝固领域,特别涉及一种气体冷却式定向凝固装置。炉体内放置有石英坩埚,石英坩埚外壁由内向外依次环绕有石墨发热体、保温套筒和感应线圈;拉锭机构位于炉体底部中心位置,且与外部相连通,拉锭机构的上部为石墨螺旋板,石墨螺旋板上的螺旋通道与拉锭机构的进气口相连通,石墨螺旋板的两侧边缘处开有的出气口。本实用新型装置构思独特,能够实现硅熔体的定向生长,起到定向凝固去除多晶硅中金属性杂质的目的,对于相同条件下的硅料数据来看,该装置的升温时间短,保温时能耗小,同时冷却速度可控制,且晶体生长较常规的冷却方式好,能更好的实现定向凝固的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 气体 冷却 定向 凝固 装置 | ||
【主权项】:
一种气体冷却式定向凝固装置,炉体(9)内放置有石英坩埚(4),石英坩埚(4)外壁由内向外依次环绕有石墨发热体(6)、保温套筒(8)和感应线圈(7);拉锭机构(11)位于炉体(9)底部中心位置,且与外部相连通,其特征在于拉锭机构(11)的上部为石墨螺旋板(10),石墨螺旋板(10)上的螺旋通道与拉锭机构(11)的进气口(1)相连通,石墨螺旋板(10)的两侧边缘处开有的出气口(2)。
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