[实用新型]一种化学气相沉积系统

摘要

本申请公开了一种化学气相沉积系统，包括：结构为箱型并且对外密闭的沉积炉；多个设置在沉积炉上并与沉积炉相连通，用来向沉积炉内输送化学气体的喷嘴；与喷嘴相连通的化学气体分配装置；多个设置在沉积炉上并与沉积炉相连通，用来对沉积炉抽真空的抽真空口；与抽真空口相连通的抽真空装置；设置在沉积炉内壁上的多个加热装置。通过控制不同喷嘴和抽真空口的开关，改善沉积炉内化学气体浓度的均匀性；同时沉积炉内的多个加热装置，可以使炉内各个部位的温度基本一致。本申请提供的化学气相沉积系统的沉积炉内各个位置的化学气体浓度均匀性和温度均匀性较好，使沉积炉内各个位置沉积的速率能够保持一致，最终可以得到的密度均匀一致的产品。

主权项

一种化学气相沉积系统，其特征在于，包括：结构为箱型并且对外密闭的沉积炉；多个设置在所述沉积炉上并与所述沉积炉相连通，用于向所述沉积炉内输送化学气体的喷嘴；与所述喷嘴相连通的化学气体分配装置；多个设置在所述沉积炉上并与所述沉积炉相连通，用于对所述沉积炉抽真空的抽真空口；与所述抽真空口相连通的抽真空装置；设置在所述沉积炉内壁上的多个加热装置。