[实用新型]一种晶棒加热炉有效
申请号: | 201320443607.8 | 申请日: | 2013-07-25 |
公开(公告)号: | CN203421953U | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 和俊莉;王丹;张文涛;陈磊;钱俊有;蔡水占;刘栓红 | 申请(专利权)人: | 河南鸿昌电子有限公司 |
主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省许昌*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种半导体加热炉,具体地说是涉及一种晶棒加热炉。一种晶棒加热炉,包括炉体,其特征在于:所述的炉体内设有多层刚玉砖,每层刚玉砖之间设有电炉丝,所述的炉体中间设有用于放置晶棒的加热孔,所述的加热孔四周设有高温导热陶瓷套,所述的晶棒放置在陶瓷套内,所述的炉体上下设有隔热板,所述的隔热板中间设有与加热孔配合的圆孔,所述隔热板安装在炉体上下端部的刚玉砖上。这样结构的一种晶棒加热炉具有晶棒加热均匀,使用方便,性能高的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 加热炉 | ||
【主权项】:
一种晶棒加热炉,包括炉体,其特征在于:所述的炉体内设有多层刚玉砖,每层刚玉砖之间设有电炉丝,所述的炉体中间设有用于放置晶棒的加热孔,所述的加热孔四周设有高温导热陶瓷套,所述的晶棒放置在陶瓷套内,所述的炉体上下设有隔热板,所述的隔热板中间设有与加热孔配合的圆孔,所述隔热板安装在炉体上下端部的刚玉砖上。
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