[实用新型]一种室温工作的高性能氮氧化物气敏元件有效
| 申请号： | 201320444473.1 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN203350214U | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 胡明;李明达;曾鹏;马双云;闫文君 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 张宏祥 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种室温工作的高性能氮氧化物气敏元件，硅基片衬底为n型单面抛光的单晶硅基片，硅基片衬底的上面依次设置有多孔硅层、氧化钨薄膜和铜薄膜，铜薄膜的上表面设置有铂电极正极和铂电极负极。本实用新型可在室温工作，且对超低浓度（ppb级）的氮氧化物气体具有很高的选择性，可以实现高灵敏度的可逆快速探测；其体积小巧、使用方便，重复性强，有望在氮氧化物气体传感器领域获得推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 室温 工作 性能 氧化物 元件 | ||
【主权项】：
一种室温工作的高性能氮氧化物气敏元件，包括硅基片衬底、多孔硅层和铂电极，其特征在于，所述硅基片衬底(1)为n型单晶硅基片，硅基片衬底(1)的上面设置有多孔硅层(2)，多孔硅层(2)上表面设置有氧化钨薄膜(3)，氧化钨薄膜(3)的上面设置有铜薄膜(4)，铜薄膜(4)的上表面设置有铂电极正极(5)和铂电极负极(6)。
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