[实用新型]真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置有效
| 申请号： | 201320444658.2 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN203474889U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 曾宗伟;杨思泽 | 申请（专利权）人： | 曾宗伟;杨思泽 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 实用新型公开了一种真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置，包括用于控制溅射镀膜装置完成镀膜过程的CNC控制器和PLC，所述PLC内附或外挂在所述CNC控制器上，并与CNC控制器信号连接，所述溅射镀膜装置中的各动作元件分别与CNC控制器或PLC信号连接。根据CNC控制器和PLC的指令来执行程序，具体控制背景技术中提到的溅射镀膜装置，自动化地完成镀膜过程，其优点是：使镀膜过程全自动化，只需要把欲镀膜物品置入真空室，启动系统之后便可以离开，在完成镀膜之后，回来取出成品，解除操作人员的沉重负担；使一个操作员可以同时监控多台镀膜设备；避免操作人员犯错而导致镀膜失败的问题；使新手很容易学会操作。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 阴极 金属表面 镀膜 自动控制 装置 | ||
【主权项】：
一种真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置，其特征在于，包括用于控制溅射镀膜装置完成镀膜过程的CNC控制器和PLC，所述PLC内附或外挂在所述CNC控制器上，并与CNC控制器信号连接，所述溅射镀膜装置中的各动作元件分别与CNC控制器或PLC信号连接。
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