[实用新型]MEMS麦克风

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风，涉及声电产品技术领域，包括底板以及设置于所述底板上的MEMS芯片，所述底板的边缘部位罩设有外壳，所述MEMS芯片位于所述底板与所述外壳围成的空腔内，所述底板上对应所述MEMS芯片内腔的位置设有声孔；所述外壳顶部的外侧设有用于电连接所述MEMS芯片与终端产品电路板的焊盘，所述MEMS芯片与所述焊盘之间通过设置在所述外壳与所述底板之间的弹簧电连接，所述弹簧的一端固定于所述底板设有所述MEMS芯片的一侧，所述弹簧的另一端固定于所述外壳顶部的内侧。本实用新型解决了现有技术中MEMS麦克风难以同时满足方便安装、又声学性能高的技术问题。本实用新型便于与终端产品连接，同时又具有较高的声学性能。

主权项

MEMS麦克风，包括底板以及设置于所述底板上的MEMS芯片，所述底板的边缘部位罩设有外壳，所述MEMS芯片位于所述底板与所述外壳围成的空腔内，所述底板上对应所述MEMS芯片内腔的位置设有声孔;其特征在于，所述外壳顶部的外侧设有用于电连接所述MEMS麦克风与终端产品的焊盘，所述MEMS芯片与所述焊盘之间通过设置在所述外壳与所述底板之间的弹簧电连接，所述弹簧的一端固定于所述底板设有所述MEMS芯片的一侧，所述弹簧的另一端固定于所述外壳顶部的内侧。