[实用新型]半导体/面板厂有机废气净化的装置有效
| 申请号： | 201320448115.8 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN203425693U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 梁小朝;黄源;尹云舰;连杰;龚升 | 申请（专利权）人： | 杭州格林达化学有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/22 | 分类号： | B01D53/22;B01D5/00 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市萧*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种半导体/面板厂有机废气净化的装置，包括除水器、压缩器、膜分离器和冷凝器，所述除水器的进口为有机废气入口，所述除水器的出口与所述压缩器的进口连通，所述压缩器的出口与所述膜分离器的进口连通，所述膜分离器包括空气出口和废气出口，所述膜分离器的废气出口与所述冷凝器的入口连接，所述冷凝器的出口与循环管连通，所述循环管的另一端与所述压缩器的进口连通。本实用新型提供了一种节省成本、降低能耗的半导体/面板厂有机废气净化的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 面板 有机 废气 净化 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体/面板厂有机废气净化的装置，其特征在于：包括除水器、压缩器、膜分离器和冷凝器，所述除水器的进口为有机废气入口，所述除水器的出口与所述压缩器的进口连通，所述压缩器的出口与所述膜分离器的进口连通，所述膜分离器包括空气出口和废气出口，所述膜分离器的废气出口与所述冷凝器的入口连接，所述冷凝器的出口与循环管连通，所述循环管的另一端与所述压缩器的进口连通。
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