[实用新型]用于极紫外光刻机的动态气体锁有效
| 申请号： | 201320453607.6 | 申请日： | 2013-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN203414732U | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 陈进新;王魁波;王宇;吴晓斌;谢婉露;张罗莎;罗艳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于极紫外光刻机的动态气体锁，用于阻止第二腔室内的物质进入第一腔室，所述动态气体锁包括一两端开口的筒身，筒身具有一宽口端和一窄口端，所述宽口端连接所述第一腔室，所述窄口端连接所述第二腔室；所述筒身上还开有多个喷口，该多个喷口均贯穿筒身的侧壁，用于向所述筒身内部吹送气体，每个喷口向筒身内部吹送的气流形成一个分气流；所述各喷口的中心轴与所述筒身的中心轴的向宽口端延伸的方向成锐角或直角，并且，靠近宽口端的喷口的中心轴与筒身的中心轴所成的角度不大于靠近窄口端的喷口的中心轴与筒身的中心轴所成的角度。本实用新型可用于极紫外光刻机，在抑制杂质扩散的同时，更好的确保极紫外辐照接近无损的通过动态气体锁。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 紫外 光刻 动态 气体 | ||
【主权项】：
一种用于极紫外光刻机的动态气体锁，用于阻止极紫外光刻机的清洁真空环境的第二腔室内的物质进入超清洁真空环境的第一腔室，其特征在于： 所述动态气体锁包括一两端开口的筒身，筒身具有一宽口端和一窄口端，所述宽口端连接所述第一腔室，所述窄口端连接所述第二腔室； 所述筒身上还开有多个喷口，该多个喷口均贯穿筒身的侧壁，用于向所述筒身内部吹送气体，每个喷口向筒身内部吹送的气流形成一个分气流； 所述各喷口的中心轴与所述筒身的中心轴的向宽口端延伸的方向成锐角或直角，并且，靠近宽口端的喷口的中心轴与筒身的中心轴所成的角度不大于靠近窄口端的喷口的中心轴与筒身的中心轴所成的角度。
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