[实用新型]一种机柜用旋转结构有效
申请号: | 201320453902.1 | 申请日: | 2013-07-26 |
公开(公告)号: | CN203446130U | 公开(公告)日: | 2014-02-19 |
发明(设计)人: | 李东升;黄静莉;贾海立;朱岳彬;秦磊;曹文 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | H05K5/02 | 分类号: | H05K5/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种机柜用旋转结构,用以使得机柜相对整机框架旋转,所述机柜用旋转结构包括位于所述机柜和整机框架顶部的顶部转动结构和位于所述机柜和整机框架底部的底部转动结构,所述顶部转动结构和所述底部转动结构均与所述整机框架固定连接,且均与所述机柜转动连接,所述顶部转动结构和所述底部转动结构分别包括一个调心球轴承和推力调心滚子轴承,且通过所述推力调心滚子轴承和所述调心球轴承与所述机柜转动连接,所述推力调心滚子轴承和所述调心球轴承同轴设置,所述机柜能够绕该轴旋转。解决了机柜的重量较大、体积较大,不易于移动,从而难以对光刻机的内部空间进行维护的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 机柜 旋转 结构 | ||
【主权项】:
一种机柜用旋转结构,用以使得机柜相对整机框架旋转,其特征在于:包括位于所述机柜和整机框架顶部的顶部转动结构和位于所述机柜和整机框架底部的底部转动结构,所述顶部转动结构和所述底部转动结构均与所述整机框架固定连接,且均与所述机柜转动连接,所述顶部转动结构和所述底部转动结构分别包括一个调心球轴承和推力调心滚子轴承,且通过所述推力调心滚子轴承和所述调心球轴承与所述机柜转动连接,所述推力调心滚子轴承和所述调心球轴承同轴设置,所述机柜能够绕该轴旋转。
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