[实用新型]一种硅片切割用砂浆更新设备

摘要

本实用新型公开了一种硅片切割用砂浆更新设备，涉及硅片生产设备技术领域。包括底座，底座位于液压叉车秤上，底座的上面设有支架和两个并排的隔膜泵一、隔膜泵二，支架上设有砂浆中转缸，砂浆中转缸的上口设有上管道，上管道的下部与质量流量计连接，质量流量计通过中管道与隔膜泵一出料口连接，砂浆中转缸的底部设有下管道，下管道的另一端与隔膜泵二进料口连接。本实用新型结构简单、砂浆更新量精确，避免由于砂浆更新量少造成切割质量问题或由于砂浆更新量多造成材料的浪费，可提高产品质量，降低硅片生产成本。

主权项

一种硅片切割用砂浆更新设备，其特征在于：包括底座（1），底座（1）位于液压叉车秤（9）上，底座（1）的上面设有支架（8）和两个并排的隔膜泵一（2）、隔膜泵二（10），支架（8）上设有砂浆中转缸（7），砂浆中转缸（7）的上口设有上管道（6），上管道（6）的下部与质量流量计（5）连接，质量流量计（5）通过中管道（4）与隔膜泵一（2）出料口连接，砂浆中转缸（7）的底部设有下管道（3），下管道（3）的另一端与隔膜泵二（10）进料口连接。