[实用新型]单芯片推挽桥式磁场传感器

摘要

本实用新型公开了一种单芯片推挽桥式磁场传感器，该传感器包括基片、焊盘、磁电阻传感元件以及通量集中器，其中磁电阻传感元件位于相邻通量集中器的间隙处，其钉扎层方向相同，通量集中器分为推臂和挽臂两种类型，一种与X轴正向的夹角为正，另一种与X轴正向的夹角为负，该传感器的工作原理是通过检测在通量集中器间隙处的磁场大小，来获得在X轴方向上的磁场差值。该传感器具有以下优点：体积小、成本低、制作简单、灵敏度高、线性度好、检测的信号强、工作动态范围宽等。

主权项

一种单芯片推挽桥式磁场传感器，其特征在于，它包括：一位于XY平面内的基片，其中XY平面由坐标轴X轴和Y轴来定义；至少一个由一个或多个磁电阻传感元件组成的推臂；至少一个由一个或多个磁电阻传感元件组成的挽臂；多个设置在所述基片上的推臂通量集中器和挽臂通量集中器，多个所述推臂通量集中器两两之间和多个挽臂通量集中器两两间均设置有一定的间隙，其中，所述推臂通量集中器与X轴正向的夹角为正而所述挽臂通量集中器与X轴正向的夹角为负，或者所述推臂通量集中器与X轴正向的夹角为负,而所述挽臂通量集中器与X轴正向的夹角为正；所述磁电阻传感元件的磁性钉扎层的磁化方向相同；各磁电阻传感元件均分别对应地位于两个相邻推臂通量集中器或两个相邻挽臂通量集中器之间的间隙处，以检测所述推臂通量集中器和所述挽臂通量集中器之间的磁场在X轴方向上分量的差值；所述磁电阻传感元件通过微电子连接和电子封装方法形成推挽电桥，并进行输入输出连接。