[实用新型]控制籽晶杆升降的传动装置有效
| 申请号： | 201320461145.2 | 申请日： | 2013-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN203411655U | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 方建东;杨宁;孙晓晓;黄小卫 | 申请（专利权）人： | 元亮科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214037 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种控制籽晶杆升降的传动装置，包括托板，在托板上固定支架，在支架上安装丝杆箱体；在所述丝杆箱体内部安装丝杆，在丝杆的上段套设螺母座，螺母座与晶杆支撑板连接；特征是：在所述丝杆下方安装转接轴，在转接轴上安装涡轮，涡轮与蜗杆啮合，蜗杆与伺服电机的动力输出端连接；在所述转接轴的上段套设谐波减速器，在丝杆的下段套设电磁离合器，谐波减速器与电磁离合器通过连接板连接。在所述丝杆的中段套设锥齿轮，锥齿轮外侧的丝杆箱体上连接手轮，手轮的端部齿轮与锥齿轮啮合。本实用新型传动装置结构紧凑，不会出现提拉速度稳定性差、传导振动等问题，可稳定控制籽晶杆的提拉速度。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 籽晶 升降 传动 装置 | ||
【主权项】：
一种控制籽晶杆升降的传动装置，包括托板（1），在托板（1）上固定支架（2），在支架（2）上安装丝杆箱体（3）；在所述丝杆箱体（3）内部安装丝杆（4），在丝杆（4）的上段套设螺母座（12），螺母座（12）与晶杆支撑板（13）连接；其特征是：在所述丝杆（4）下方安装转接轴（5），在转接轴（5）上安装蜗轮（6），蜗轮（6）与蜗杆（7）啮合，蜗杆（7）与伺服电机（8）的动力输出端连接；在所述转接轴（5）的上段套设谐波减速器（9），在丝杆（4）的下段套设电磁离合器（10），谐波减速器（9）与电磁离合器（10）通过连接板（11）连接。
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