[实用新型]准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构有效

专利信息
申请号: 201320463146.0 申请日: 2013-07-31
公开(公告)号: CN203382845U 公开(公告)日: 2014-01-08
发明(设计)人: 水川;许柏 申请(专利权)人: 安徽大晟新能源设备科技有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 代理人: 王琪
地址: 237000 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型涉及一种准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构,包括炉壳、移动立柱、支撑座,所述支撑座内设有真空密封橡胶圈、垫圈、油毡和压盖,所述炉壳内流通有冷却水。本实用新型结构合理,使坩埚平台升降装置的移动立柱在运动中能保持炉内的密封,不会有空气进入设备内部,满足其生产工艺要求,解决了在生产中铸锭炉内部保持真空的需求。
搜索关键词: 准单晶 铸锭 坩埚 平台 升降 装置 真空 密封 结构
【主权项】:
一种准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构,包括炉壳、移动立柱、支撑座,其特征在于:所述支撑座内设有真空密封橡胶圈、垫圈、油毡和压盖;所述支撑座设置在炉壳底部,移动立柱置于中空的支撑座内部,支撑座的下端设有沉孔,沉孔内与移动立柱之间设有两个真空密封橡胶圈,两个真空密封橡胶圈的外圈之间设有垫圈,两个真空密封橡胶圈的内圈之间设有油毡,沉孔端部设有压盖。
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