[实用新型]准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构有效
申请号: | 201320463146.0 | 申请日: | 2013-07-31 |
公开(公告)号: | CN203382845U | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | 水川;许柏 | 申请(专利权)人: | 安徽大晟新能源设备科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人: | 王琪 |
地址: | 237000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构,包括炉壳、移动立柱、支撑座,所述支撑座内设有真空密封橡胶圈、垫圈、油毡和压盖,所述炉壳内流通有冷却水。本实用新型结构合理,使坩埚平台升降装置的移动立柱在运动中能保持炉内的密封,不会有空气进入设备内部,满足其生产工艺要求,解决了在生产中铸锭炉内部保持真空的需求。 | ||
搜索关键词: | 准单晶 铸锭 坩埚 平台 升降 装置 真空 密封 结构 | ||
【主权项】:
一种准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构,包括炉壳、移动立柱、支撑座,其特征在于:所述支撑座内设有真空密封橡胶圈、垫圈、油毡和压盖;所述支撑座设置在炉壳底部,移动立柱置于中空的支撑座内部,支撑座的下端设有沉孔,沉孔内与移动立柱之间设有两个真空密封橡胶圈,两个真空密封橡胶圈的外圈之间设有垫圈,两个真空密封橡胶圈的内圈之间设有油毡,沉孔端部设有压盖。
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