[实用新型]一种用于平板件表面镀类金刚石膜的设备

摘要

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体地说是一种可以对大面积平板工件进行批量化镀膜的装夹工艺。一种用于平板件表面镀类金刚石膜的设备，包括真空室，真空室内设置有平板件固定装置，所述平板件固定装置包括由支架支撑起的金属网罩，所述金属网罩上设置有金属卡扣。本实用新型为了解决大平板工件类金刚石涂层镀膜过程中遇到的一些实际问题，包括包括镀膜质量、一批次最大装炉量等，结合技术的特点和工件的特征出发，设计出较为合理的装夹方式，在保证镀膜质量的前提下实现批量化，从而为类金刚石膜的大批量工业化生产提供了技术支持。

主权项

一种用于平板件表面镀类金刚石膜的设备，包括真空室，其特征在于：所述真空室内设置有平板件固定装置，所述平板件固定装置包括由支架支撑起的金属网罩，所述金属网罩上设置有金属卡扣。