[实用新型]一种双电极压电传感器芯片有效
申请号: | 201320480802.8 | 申请日: | 2013-08-07 |
公开(公告)号: | CN203415627U | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 王天雄;陈金灵 | 申请(专利权)人: | 四川省三台水晶电子有限公司 |
主分类号: | H01L41/047 | 分类号: | H01L41/047 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 卿诚;吴彦峰 |
地址: | 621100*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型提供一种双电极压电传感器芯片,涉及传感器零部件,解决了传统设计只能测量一种参数,且不能进行真空封装的问题,本技术方案的芯片包括压电基片和两对电极,所述两对电极中的正电极均设置在压电基片的一面,两对电极中的负电极均设置在压电基片的另一面。具有可以同时测量两种参数,且能实现单侧真空封装的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 电极 压电 传感器 芯片 | ||
【主权项】:
一种双电极压电传感器芯片,其特征在于,该芯片包括压电基片和两对电极,所述两对电极中的正电极均设置在压电基片的一面,两对电极中的负电极均设置在压电基片的另一面。
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