[实用新型]一种单晶硅直拉热场可视热屏装置有效
| 申请号： | 201320482081.4 | 申请日： | 2013-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN203411654U | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 楚信博;李宁 | 申请（专利权）人： | 晶伟电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 065201 河北省廊坊市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，包括外热屏和嵌套在外热屏中的内热屏，并且内热屏与外热屏之间为密闭的保温层腔体；所述保温层腔体中设有夹层块，且夹层块紧贴内热屏的外壁和外热屏的内壁；所述外热屏的屏壁底部、夹层块以及内热屏的屏壁底部的相应位置各开有一个观察槽。本实用新型可以对晶体生长过程中熔硅液面位置进行实时观察。内热屏、外热屏和夹层块相互配合，观察者可以通过观察口对固液界面进行观察，内热屏和外热屏可以起到保温的作用，合理控制熔硅固液界面温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 直拉热场 可视 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，包括外热屏（2）和嵌套在外热屏（2）中的内热屏（1），并且内热屏（1）与外热屏（2）之间为密闭的保温层腔体；其特征在于：所述保温层腔体中设有夹层块（3），且夹层块（3）紧贴内热屏（1）的外壁和外热屏（2）的内壁；所述外热屏（2）的屏壁底部、夹层块（3）以及内热屏（1）的屏壁底部的相应位置各开有一个观察槽。
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