[实用新型]一种用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁

摘要

实用新型公开了一种用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，其连通第一腔室和第二腔室并阻止第二腔室内的物质进入第一腔室，动态气体锁包括一两端开口的筒身，筒身具有一宽口端和一窄口端，宽口端连接第一腔室，窄口端连接第二腔室；筒身的靠近窄口端的侧面包括多个用于向筒身内部喷气的螺旋气流喷口，多个螺旋气流喷口所喷出的气流能够围绕筒身的中心轴进行旋转，产生螺旋气流，螺旋气流汇聚到筒身的中心轴附近；筒身的靠近宽口端的侧面包括至少一个补气气流喷口，补气气流喷口吹向螺旋气流喷口在筒身的中心轴上的投影点之间。本实用新型可用于极紫外光刻机，在抑制杂质扩散的同时，更好的确保极紫外辐照接近无损的通过动态气体锁。

主权项

一种用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁，用于连通极紫外光刻机的第一腔室和第二腔室，并阻止清洁真空环境的第二腔室内的物质进入超清洁真空环境的第一腔室，其特征在于： 所述动态气体锁包括一两端开口的筒身，筒身具有一宽口端和一窄口端，所述宽口端连接所述第一腔室，所述窄口端连接所述第二腔室； 所述筒身的靠近窄口端的侧面包括多个用于向筒身内部喷气的螺旋气流喷口，该多个螺旋气流喷口所喷出的气流能够围绕筒身的中心轴进行旋转，即产生同向的螺旋气流，该螺旋气流汇聚到所述筒身的中心轴附近； 所述筒身的靠近宽口端的侧面包括至少一个用于向筒身内部喷气的补气气流喷口，所述补气气流喷口的轴向延长线与所述筒身的中心轴的交点位于各螺旋气流喷口组的喷口在该中心轴上的投影点之间。