[实用新型]一种单晶炉高精度限位的卷丝轮机构

摘要

一种单晶炉高精度限位的卷丝轮机构，在真空腔室内安装有花键轴，晶升驱动装置安装在花键轴伸出真空腔室外的一端，卷丝轮组件安装在真空腔室内的花键轴上，在卷丝轮组件的外周开有螺旋槽，籽晶绳缠绕在螺旋槽内，在真空腔室内远离晶升驱动装置的一端安装有法兰，在法兰两端安装有铜螺母，在铜螺母上设有与螺旋槽相适配的螺纹；晶升驱动装置运行，带动花键轴转动，进而带动卷丝轮组件转动，籽晶绳顺着卷丝轮组件上的螺旋槽轨道缠绕或者脱开，实现籽晶绳上下移动；铜螺母上的螺纹与卷丝轮组件上的螺旋槽配合，实现卷丝轮组件转动的同时沿着花键轴轴向移动，保证籽晶绳的回转中心不动；解决了单晶炉在运行过程中，晶体旋转中心摆动量较大的问题。

主权项

一种单晶炉高精度限位的卷丝轮机构，包括安装在单晶炉顶部的真空腔室（1），其特征在于：在所述真空腔室（1）内安装有花键轴（2），晶升驱动装置（7）安装在花键轴（2）伸出真空腔室（1）外的一端，卷丝轮组件（3a）安装在位于真空腔室（1）内的花键轴（2）上，在卷丝轮组件（3a）的外周开有螺旋槽（3b），籽晶绳（6a）缠绕在螺旋槽（3b）内，在真空腔室（1）内远离晶升驱动装置（7）的一端安装有法兰（5），在法兰（5）两端安装有铜螺母（4a），在铜螺母（4a）上设有与螺旋槽（3b）相适配的螺纹（4b）。