[实用新型]多晶硅还原炉底盘防拉弧结构有效
| 申请号： | 201320488190.7 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN203461825U | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 吴海龙;茅陆荣;缪锦泉;沈刚;程佳彪 | 申请（专利权）人： | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 马育麟 |
| 地址： | 201323 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉底盘防拉弧结构，包括螺母、电极座、底盘下底板、绝缘套、电极，所述电极座与底盘下底板固定连接，所述电极座内安装有电极，还包括弹性缓冲装置，所述弹性缓冲装置与电极座之间还设有绝缘杯。通过绝缘杯将电极和电极底部的零部件与设备底盘下底板隔开，避免了该处尖端放电的拉弧现象，降低了生长过程中的风险，提高了高压启动的成功率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 底盘 防拉弧 结构 | ||
【主权项】：
多晶硅还原炉底盘防拉弧结构，包括螺母(1)、电极座(5)、底盘下底板(6)、绝缘套(7)、电极(8)，所述电极座（5）与底盘下底板（6）固定连接，所述电极座（5）内安装有电极（8），其特征在于,还包括弹性缓冲装置，所述弹性缓冲装置与电极座（5）之间还设有绝缘杯(4)。
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