[实用新型]一种MOCVD进料装置

摘要

本实用新型公开了一种MOCVD进料装置，包括：支座、与所述支座连接的左右运动单元和上下运动单元、与支座连接的机械手组件、以及运动控制装置，运动控制装置控制左右运动单元和上下运动单元的运动状态。本实用新型采用直线型的进料方式，通过左右运动单元和上下运动单元直线型传动，可以缩短机械悬臂的长度，有利于加强机械悬臂的刚性，减少机械手抓取负载时引起的机械悬臂变形，确保了机械手的运动精度，且构成零件简单，易于制造和装配，同时左右、上下运动单元通过运动控制装置控制，确保了机械手的运动精度。

主权项

一种MOCVD进料装置，其特征在于包括：支座、与所述支座连接的左右运动单元和上下运动单元、与支座连接的机械手组件、以及运动控制装置，其中，    所述的左右运动单元包括：固定在所述支座正面横向设置的两条左右导轨（2）、与所述左右导轨配合的滑块（3），该滑块与机械手组件固定连接，所述支座（1）上还设有带动滑块运动的横向同步带（4）和横向同步电机；    所述上下运动单元包括：纵向固定在所述支座后方的两个圆柱形上下导轨（5）、套于所述上下导轨上并与所述支座固定连接的四个限位块（6）、纵向固定设置在支座后方的两个丝杆（7）、套于所述丝杆上并与所述支座固定连接的方形螺母，所述丝杆与纵向步进电机连接；    运动控制装置包括：控制所述横向步进电机和所述纵向步进电机开停的控制模块。