[实用新型]一种多晶硅铸锭炉用安全防爆装置

摘要

一种多晶硅铸锭炉用安全防爆装置，包括和多晶硅铸锭炉炉室腔体相连的主管道，安装在主管道密封槽内的O型圈，通过销轴连接在主管道上的阀盖，在销轴位于阀盖的端部处设置有垫片；在多晶硅铸锭炉正常运行过程中，阀盖依靠自身重力压紧O型圈使整个主管道处于密闭状态，为硅锭的生长营造一个良好的环境；当多晶炉内部硅液从坩埚溢出或腔体内的冷却水泄漏引起多晶硅铸锭炉腔体内压力短时间变大时，炉内气体会推开阀盖自动排气泄压，避免了因腔体内压力过大发生爆炸现象，减少了安全隐患，泄压完成后，可以手动使阀盖复位；该装置在炉内发生漏硅或者漏水引起炉内压力突然大幅增大时快速泄压，结构简单，安装使用方便。

主权项

一种多晶硅铸锭炉用安全防爆装置，其特征在于：包括和多晶硅铸锭炉炉室腔体相连的主管道（1），安装在主管道（1）密封槽内的O型圈（5），通过销轴（3）连接在主管道（1）上的阀盖（2），在销轴（3）位于阀盖（2）的端部处设置有垫片（4）。