[实用新型]同性气体的输送系统有效
申请号: | 201320496514.1 | 申请日: | 2013-08-14 |
公开(公告)号: | CN203549381U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 胡昌勇;何先明;王汉刚 | 申请(专利权)人: | 上海聚鼎半导体设备有限公司 |
主分类号: | F17C7/00 | 分类号: | F17C7/00;F17C13/04;F17C13/02 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 曾少丽 |
地址: | 201600 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了同性气体的输送系统,包括第一输送装置,所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置,第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连。本实用新型提供的同性气体的输送系统,整体空间缩小,彻底消除安全隐患,实现连续供气,提高产品质量和工艺的稳定性,大大降低生产和物流成本。 | ||
搜索关键词: | 同性 气体 输送 系统 | ||
【主权项】:
同性气体的输送系统,包括第一输送装置,其特征在于:所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置,第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连,所述第二输送装置和第三输送装置分别包括钢瓶、第一压力表、第一气动隔膜阀、调压阀、第二压力表、第二气动隔膜阀、手动隔膜阀,钢瓶连接第一压力表、第一气动隔膜阀,第一气动隔膜阀与调压阀的进口连接,调压阀的出口与第二压力表、第二气动隔膜阀、手动隔膜阀连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海聚鼎半导体设备有限公司,未经上海聚鼎半导体设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201320496514.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种抗应力腐蚀铝合金型材的制备方法
- 下一篇:轴流式鼓风机