[实用新型]同性气体的输送系统有效

专利信息
申请号: 201320496514.1 申请日: 2013-08-14
公开(公告)号: CN203549381U 公开(公告)日: 2014-04-16
发明(设计)人: 胡昌勇;何先明;王汉刚 申请(专利权)人: 上海聚鼎半导体设备有限公司
主分类号: F17C7/00 分类号: F17C7/00;F17C13/04;F17C13/02
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人: 曾少丽
地址: 201600 上海市松*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了同性气体的输送系统,包括第一输送装置,所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置,第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连。本实用新型提供的同性气体的输送系统,整体空间缩小,彻底消除安全隐患,实现连续供气,提高产品质量和工艺的稳定性,大大降低生产和物流成本。
搜索关键词: 同性 气体 输送 系统
【主权项】:
同性气体的输送系统,包括第一输送装置,其特征在于:所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置,第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连,所述第二输送装置和第三输送装置分别包括钢瓶、第一压力表、第一气动隔膜阀、调压阀、第二压力表、第二气动隔膜阀、手动隔膜阀,钢瓶连接第一压力表、第一气动隔膜阀,第一气动隔膜阀与调压阀的进口连接,调压阀的出口与第二压力表、第二气动隔膜阀、手动隔膜阀连接。 
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