[实用新型]一种用于平板玻璃镀膜的气体平面均匀分配器

摘要

本实用新型涉及一种用于平板玻璃镀膜的气体平面均匀分配器，其特征在于：包括初级分配器（1），在初级分配器（1）的下面配合连接一组终极分配器（2）。初级分配器（1）的外壳（1f）成锥体状，在外壳（1f）内均布一组一分二分级隔板。终极分配器（2）的壳体（2h）也成锥体状，在壳体（2h）内也均布一组一分二分级隔板。本实用新型的优点：本装置制造简单，成本较低，对气体的均匀分配效果好。

主权项

一种用于平板玻璃镀膜的气体平面均匀分配器，其特征在于包括：a、初级分配器（1），在初级分配器（1）的下面配合连接一组终极分配器（2）；b、初级分配器（1），初级分配器（1）包括外壳（1f），外壳（1f）的截面成锥体状，在外壳（1f）的上端设有进气口（1a），在进气口（1a）上连接进气管（12），外壳（1f）的下侧为竖直外壳（1b），在竖直外壳（1b）内均布一组竖直的初级隔板（4），初级隔板（4）将竖直外壳（1b）所围成的腔体平均分割，在竖直外壳（1b）的端部形成一组中间出气口（1g），处于外壳（1f）中间位置的中间隔板（3）的上端点竖直向上延伸一段距离，由中间隔板（3）向两侧每间隔一个初级隔板（4）的下一个初级隔板（4）的顶端均倾斜向上延伸一段距离，倾斜延伸的初级隔板（4）的上端点所在的水平面均低于中间隔板（3a）的上端点所在的水平面；c、终极分配器（2），终极分配器（2）包括壳体（2h），壳体（2h）的截面成锥体状，在壳体（2h）的上端设有中间进气口（2a），中间进气口（2a）与中间出气口（1g）配合连接，在壳体（2h）的下侧为竖直的下壳体（2b），在下壳体（2b）内均布一组竖直的终极隔板（8），终极隔板（8）将下壳体（2b）所围成的腔体平均分割，在下壳体（2b）的端部形成一组终极出气口（2n），处于下壳体（2b）中间位置的中心隔板（7）的上端点竖直向上延伸一段距离，由中心隔板（7）向两侧每间隔一个终极隔板（8）的下一个终极隔板（8）的顶端均倾斜向上延伸一段距离，倾斜延伸的终极隔板（8）的上端点所在的水平面均低于中心隔板（7）的上端点所在的水平面。