[实用新型]进气管道以及进气装置

摘要

本实用新型公开了一种进气管道以及包括所述进气管道的进气装置。所述进气管道具有进气口和出气口，所述进气管道还包括导流件，设置在所述进气口朝向气体腔室的一端，所述导流件能够使得来自气体腔室的反应气体从第一方向渐变至第二方向并进入所述进气口，经过气体管道的出气口流向所述反应区域。由于导流件的存在，使得反应气体能够较为缓和的流出出气口，因此反应区域的气体场的稳定性和均匀性都能够得到有效的改善，进而对衬底膜层的生长有着较大的改善。

主权项

一种进气管道，用于将来自气体腔室的反应气体输送至反应区域，所述进气管道具有进气口和出气口，其特征在于，所述进气管道还包括导流件，设置在所述进气口朝向气体腔室的一端，所述导流件能够使得来自气体腔室的反应气体从第一方向渐变至第二方向并进入所述进气口，经过气体管道的出气口流向所述反应区域。