[实用新型]研磨垫整理器及研磨装置有效
| 申请号： | 201320509981.3 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN203426856U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 唐强;张溢钢 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨垫整理器及研磨装置，所述研磨装置包括内研磨盘、环形的外研磨盘、内盘旋转电机、外盘旋转电机、内盘支撑架以及外盘支撑架，所述内盘支撑架的一端与所述内研磨盘的非工作表面固定连接，另一端与所述内盘旋转电机连接，所述外盘支撑架的一端与所述外研磨盘的非工作表面固定连接，另一端与所述外盘旋转电机连接，所述内研磨盘的外径小于所述外研磨盘的内径，所述内研磨盘与所述外研磨盘同轴设置，所述内研磨盘和所述外研磨盘能够相对独立上下移动。其可以解决研磨盘过大其表面的研磨液副产物不容易排除的问题，并且可以减小研磨液在研磨垫上的分布时间，从而有效提高研磨垫的整理效率和效果。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 整理 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨垫整理器，其特征在于，包括内研磨盘、环形的外研磨盘、内盘旋转电机、外盘旋转电机、内盘支撑架以及外盘支撑架，所述内盘支撑架的一端与所述内研磨盘的非工作表面固定连接，另一端与所述内盘旋转电机连接，所述外盘支撑架的一端与所述外研磨盘的非工作表面固定连接，另一端与所述外盘旋转电机连接，所述内研磨盘的外径小于所述外研磨盘的内径，所述内研磨盘与所述外研磨盘同轴设置，所述内研磨盘和所述外研磨盘能够相对独立上下移动。
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