[实用新型]柔性铰链式原位纳米压痕刻划材料力学性能测试平台

摘要

本实用新型涉及一种柔性铰链式原位纳米压痕刻划材料力学性能测试平台，属于机电一体化的精密科学仪器领域。由X、Y轴方向精密定位调整机构、柔性铰链单元、Z轴方向直线电机、精密压入驱动单元和载荷、位移信号的检测单元组成。X、Y轴方向精密定位调整机构可对试件进行X、Y方向的精确调整和定位，柔性铰链单元可实现X、Y方向的超精密刻划加工；Z轴方向直线电机调整机构可实现金刚石压头Z轴方向的宏动进给，Z轴方向压电陶瓷可实现金刚石压头Z轴方向的精密进给；检测单元中的精密位移传感器可实时检测金刚石压头Z方向压入深度，精密力传感器可用于检测金刚石压头Z方向压入材料压力。且具有体积精巧、传动简便和测试精度高等优点。

主权项

一种柔性铰链式原位纳米压痕刻划材料力学性能测试平台，其特征在于：包括X、Y轴方向精密定位机构（8、9）、柔性铰链单元、Z轴方向直线电机调整机构、精密压入驱动单元，所述X轴方向精密定位机构（8）固定在底座（2）上，Y轴方向精密定位机构（9）固定在X轴方向精密定位机构（8）上，柔性铰链单元安装在X、Y轴方向精密定位机构（8、9）上；所述Z轴方向直线电机调整机构的Z轴方向直线电机（13）固定在套筒（1）上，精密压入驱动单元与Z轴方向直线电机（13）通过法兰盘（14）相连；试件载物台（6）在X、Y方向上可通过分别手调X轴方向精密定位机构（8）和Y轴方向精密定位机构（9），相互调节进行精确定位。