[实用新型]基于扫描电镜下微型原位力学测试仪

摘要

本实用新型涉及一种基于扫描电镜下微型原位力学测试仪，包括固设在工作台底板上的导轨、分别通过滑块设置在导轨上的第I工作台和第II工作台、在两工作台上分别设置对应的夹具体，通过穿置在该两个工作台两端的两根丝杠及经两级涡轮副驱动连接的直流伺服电机，实现试样的拉、压测试，通过另一直流伺服电机及经两级涡轮副驱动连接的扭转轴产生夹具体的扭转，以实现试样的扭转测试。本实用新型可实现在扫描电子显微镜动态监测下的“拉伸/压缩-剪切-扭转”单一及复合载荷模式的原位力学测试。克服了传统材料力学性能测试仪不能实现原位观测和载荷单一的功能缺陷。

主权项

一种基于扫描电镜下微型原位力学测试仪，包括一工作台底板（1）、固设在工作台底板（1）上的导轨（2）、分别通过滑块（3）设置在导轨（2）上的第I工作台（4）和第II工作台（5）、在两工作台（4、5）上分别设置对应的夹具体（7、8），其特征在于：穿置在该两个工作台两端的两根丝杠（6）通过与每根丝杠上的两段反向螺纹配合的两个螺母中的一个螺母与所述的第II工作台（5）固连，另一个螺母与第I工作台（4）外侧的力传感器支座（20）固连，一力传感器（21）两端分别固连在第I工作台（4）和力传感器支座（20）上；在所述工作台底板（1）的一侧固设第一直流伺服电机（9），其电机轴通过联轴器与第一涡轮副的涡杆轴(10)相连接，通过平行设置在第一涡轮副涡轮轴（11）上的两个二级传动涡轮副的涡轮轴（12）与所述的穿置在该两个工作台两端的两根丝杠（6）的一端相连接；在所述工作台底板（1）的另一侧固设第二直流伺服电机（13），其电机轴通过联轴器与第二涡轮副的涡杆轴（14）相连接，通过设置在第二涡轮副涡轮轴（15）上的二级传动涡轮副的涡轮轴（16）与通过轴承支撑座（17）固设在工作台底板上的花键套（18）相连接；在所述的第II工作台（5）中通过推力轴承设置一扭转轴（19），一个所述的夹具体（8）固设在扭转轴（19）的一端，扭转轴（19）的另一端制成花键轴插置在所述的花键套（18）中并与其呈轴向滑配合。