[实用新型]真空镀膜机平板式发射板结构有效
| 申请号： | 201320531813.4 | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN203440436U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 夏伟;孙海澄;李龙哲;刘强;金虎 | 申请（专利权）人： | 上海哈呐机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200540 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了真空镀膜机平板式发射板结构，它包含真空室腔体、发射板、保护罩和电极，所述发射板和保护罩上设有相对应的固定孔，所述发射板上通过绝缘陶瓷钉和插针固定在保护罩上，所述绝缘陶瓷钉末端设有插孔，绝缘陶瓷钉穿过发射板固定孔及保护罩固定孔后，在其末端插孔上插入插针固定，所述真空室腔体上设有调节板，所述保护罩固定在调节板上，所述电极的螺杆端穿过发射板，并用调节螺母固定。本实用新型的有益效果：本实用新型采用板式发射，板式的发射因面积增加而产生的保护膜效果更佳，即大大增强附着力及耐碱性；在同样功率下能发射出更大电压，在同样的条件下能得到更厚的膜；在等离子轰击工艺下可获得更好的附着力；防止污染。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 平板 发射 板结 | ||
【主权项】：
真空镀膜机平板式发射板结构，它包含真空室腔体、发射板、保护罩和电极，所述发射板和保护罩上设有相对应的固定孔，所述发射板上通过绝缘陶瓷钉和插针固定在保护罩上，所述绝缘陶瓷钉末端设有插孔，绝缘陶瓷钉穿过发射板固定孔及保护罩固定孔后，在其末端插孔上插入插针固定，所述真空室腔体上设有调节板，所述保护罩固定在调节板上，所述电极的螺杆端穿过发射板，并用调节螺母固定。
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